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金属基MEMS惯性开关以及超细圆柱纤维表面3D微加工技术

时间:2021年06月03日 09:47    作者:    点击率:[] 次

报告摘要:

MEMS惯性开关作为一种“近零功耗”的传感器件,在物联网(IoT)节点振动监测中有着广泛的应用,当受到超过其阈值水平的振动冲击时,该器件能够实现瞬间机械闭合,输出接通脉冲信号,从而使外电路瞬间导通,以此完成对后续系统的控制。本报告将详细介绍一种基于非硅表面微加工技术的金属基MEMS惯性开关器件,包括其具体的研发历程和实际应用情况。此外,报告还将介绍一种可实现超细圆管/圆柱/毛细管等表面3D微加工的集成制造新技术,该技术基于紫外投影光刻,并利用研制的多自由度旋转曝光设备,可实现在百微米以下的超细柔性或刚性圆柱基表面上MEMS器件的三维集成制造,该方法将为各类超细介入/植入式柔性生物医用MEMS器件的集成制造开辟一种全新的技术途径。

 

报告人简介:

杨卓青,教授、博士生导师,上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室研究员。于2003年和2005年在哈尔滨工程大学机电工程学院获得学士与硕士学位,2010年获得上海交通大学微电子学与固体电子学博士学位,2011-2013年期间,在日本国立产业技术综合研究所(AIST)任JSPS博士后特别研究员。目前任职于上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系,长期致力于MEMS惯性开关、柔性纤维/圆管/毛细管等表面的三维MEMS集成制造、PowerMEMS等相关研究,拥有20多项中国发明专利和1项日本专利,在IEEE JMEMSIEEE TEDAdv Energy MaterNano EnergyLab Chip等国际期刊上发表论文100多篇,并受邀担任多个国际学术会议的TPC成员和分会主席,目前为Micro and NanosystemsNanomanufacturing、《功能材料与器件学报》等多个学术期刊编委。此外,曾获得2016上海市技术发明一等奖2019工信部国防科技进步三等奖,并于2014年入选上海市浦江人才计划,目前为中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国微米纳米技术学会高级会员、中科院深圳先进技术研究院客座研究员,以及IEEE高级会员。

报告时间:2021年5月7日15:00

报告地点:科研楼402



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